[发明专利]机械手及传输腔室

摘要

本发明提供一种机械手及传输腔室，包括机械手指和直线传动机构，机械手指用于承载被加工工件；直线传动机构用于驱动机械手指作直线往复运动，直线传动机构包括一级直线模组和二级直线模组，其中，一级直线模组用于驱动二级直线模组作直线往复运动，且二级直线模组在位于一级直线模组的行程始端时与之相互重叠；二级直线模组用于驱动机械手指作直线往复运动，且机械手指在位于二级直线模组的行程始端时与之相互重叠，并且机械手指的直线往复运动与二级直线模组的直线往复运动在同一直线上。本发明提供的机械手，其在满足机械手指完成放片操作所需的移动距离的前提下，体积较小，从而可以减小传输腔室的体积，进而可以降低设备的生产成本。

主权项

1.一种机械手，包括机械手指和直线传动机构，所述机械手指用于承载被加工工件；所述直线传动机构用于驱动所述机械手指作直线往复运动，其特征在于，所述直线传动机构包括一级直线模组和二级直线模组，其中，所述一级直线模组用于驱动所述二级直线模组作直线往复运动，且所述二级直线模组在位于所述一级直线模组的行程始端时与之相互重叠；所述二级直线模组用于驱动所述机械手指作直线往复运动，且所述机械手指在位于所述二级直线模组的行程始端时与之相互重叠，并且所述机械手指的直线往复运动与所述二级直线模组的直线往复运动在同一直线上；所述二级直线模组包括直线导轨、手指固定件、单向构件、第一磁组件和第二磁组件，其中，所述直线导轨与所述一级直线模组连接，且二者之间具有相对移动；所述手指固定件与所述直线导轨可移动地连接；所述机械手指固定在所述手指固定件上；所述单向构件用于在所述手指固定件位于所述直线导轨的行程终端时，阻止所述手指固定件正向或反向移动；所述第一磁组件和所述第二磁组件用于采用磁力吸附的方式分别将所述直线导轨的行程始端和行程终端与所述手指固定件固定在一起；所述一级直线模组的驱动力大于所述第一磁组件和所述第二磁组件的磁力；所述单向构件包括旋转轴、制动片和阻挡件，其中，所述旋转轴水平设置在所述手指固定件的一侧，且与所述直线导轨相互垂直；所述阻挡件设置在相对于所述一级直线模组固定不动的位置处；所述制动片设置在所述旋转轴上，且可围绕所述旋转轴摆动，并且在所述手指固定件位于所述直线导轨的行程终端时，所述制动片与所述阻挡件相配合，以阻止所述手指固定件正向或反向移动。