[发明专利]MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法

摘要

本发明涉及一种MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法，其特征是：至少包括：步骤1、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与启动时刻温度值有关误差；步骤2、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化率有关误差系数；步骤3、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化二次方有关误差系数。本发明能够准确的反映产品输出误差与温度之间的关联。按此系数进行合理的温度补偿后，MEMS传感器组合的静态测试和温度循环试验的输出零偏稳定性有较大幅度提高。经过对比测试，MEMS传感器组合全温范围内零偏稳定性指标，角速率输出零偏精度可由原来的0.5°/s提高到0.25°/s。

主权项

1.MEMS传感器组合输出温度漂移误差系数试验测定方法，其特征是：至少包括：步骤1、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与启动时刻温度值有关误差；步骤2、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化率有关误差系数；步骤3、获取MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化二次方有关误差系数；所述的步骤2MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化率有关误差系数获取包括如下流程：步骤21：将待测产品放入温箱，温箱温度设置为‑30℃,启动温箱保温1小时；步骤22：设置温箱为从‑30℃到70℃的升温工作过程，温度变化速度为0 .5℃/分钟，给待测MEMS传感器组合上电，记录升温工作过程产品输出数据；步骤23：关停温箱和产品，处理MEMS传感器组合输出数据，计算与温度变化有关的第一误差系数K1；所述的步骤23是是通过如下公式完成：K1＝△V/△T ( 3 )其中：K1为与温度变化有关的第一误差系数，△V为‑30℃到70℃的升温过程MEMS传感器组合输出测量值变化量，△T为MEMS传感器组合升温过程内部温度变化量；所述的步骤3，MEMS传感器组合温度漂移误差系数与温度变化二次方有关误差系数获取包括如下流程：步骤31：将待测产品放入温箱，温箱温度设置为0℃,启动温箱保温1小时；步骤32：设置温箱为从0℃到70℃的升温工作过程，温度变化速度为3℃/分钟，给待测MEMS传感器组合上电，记录升温工作过程产品输出数据；步骤33：关停温箱和产品，处理MEMS传感器组合输出数据，计算与温度变化有关的第二误差系数K2；所述的步骤33是通过公式( 5 )完成，公式( 5 )推导方法如下：按数学方法对温度T求导得到公式( 4 )：△V＝K1·△T+2K2·( T‑T0 )·△T ( 4 )在实际数据处理时取△T＝2℃，T0＝0℃，上式可转化为：K2＝(△V‑2K1 )/4T ( 5 )；其中，T0为启动时刻温度。