[发明专利]整合电容的热电堆感测结构有效
| 申请号： | 201510811200.X | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN106784277B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡明翰;王世霖 | 申请（专利权）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/02 | 分类号： | H01L35/02;G01J5/12 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 张一军;姜劲 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提出一种整合电容的热电堆感测结构。整合电容的热电堆感测结构包含：基板、红外线感应单元及分隔(partition)结构。红外线感应单元位于基板上，红外线感应单元具有第一感应结构及第二感应结构，其中第一感应结构及第二感应结构彼此相近的一端为热端(Hot junction)。分隔结构围绕红外线感应单元，其中分隔结构与第一感应结构彼此相近的一端为一冷端(Cold junction)，分隔结构与该第二感应结构彼此相近的一端为另一冷端。其中，热端与冷端间的温度差产生电压差讯号，且其中，分隔结构的一部分构成至少一电容。 | ||
| 搜索关键词： | 整合 电容 热电 堆感测 结构 | ||
【主权项】：
1.一种整合电容的热电堆感测结构，其特征在于，包含：一基板，具有一表面平面及垂直于该表面平面的一法线方向；一红外线感应单元，位于该基板上，该红外线感应单元具有一第一感应结构及一第二感应结构，其中该第一感应结构及该第二感应结构彼此之间形成一热端；以及一分隔结构，沿该法线方向延伸，并且，于该表面平面上，围绕该红外线感应单元，其中该分隔结构与该第一感应结构彼此之间形成一冷端，该分隔结构与该第二感应结构彼此之间形成另一冷端，该热端与该冷端间的温度差产生一电压差讯号，该分隔结构的一部分构成至少一电容，其中，该电容具有一上极板及一下极板，其中，沿该法线方向上视之，该上极板位于比该下极板更高的位置。
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