[发明专利]弱光纤光栅法布里-珀罗腔传感阵列在线制备装置及方法有效
| 申请号： | 201510814779.5 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN105259735B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 郭会勇;周次明;李小甫;余少华;余海湖 | 申请（专利权）人： | 武汉烽理光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B6/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430079 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种弱光纤光栅法布里‑珀罗腔传感阵列在线制备装置及方法，该装置包括一维平移台和相位掩模板阵列，一维平移台上设置有用于固定和调节相位掩模板阵列的可移动夹具；相位掩模板阵列的入射面上固定设置有带有多个狭缝的FP掩模板，固定的激光束辐射在狭缝后，在相位掩模干涉区上形成光斑区，并透过相位掩模干涉区辐射在光纤上；夹具沿一维平移台移动，并带动相位掩模板阵列和FP掩模板移动，使激光束辐射到不同的狭缝和相位掩模干涉区上。本发明能够实现不同光栅长度、不同腔长的光栅的制备，且装置结构简单，控制实施容易，FP掩模板切换速度快，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 弱光 光栅 法布里 珀罗腔 传感 阵列 在线 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种弱光纤光栅法布里‑珀罗腔传感阵列在线制备装置，其特征在于，包括一维平移台(1)和相位掩模板阵列(3)，所述一维平移台(1)上设置有用于固定和调节所述相位掩模板阵列(3)的可移动夹具(2)；所述相位掩模板阵列(3)包括基片(301)和所述基片(301)上设置的多个形状、大小均相同的相位掩模干涉区(302)，所述相位掩模干涉区(302)密集等间距的排列在所述基片(301)中；所述相位掩模板阵列(3)的入射面上固定设置有带有多个狭缝(501)的FP掩模板(5)，固定的激光束(4)辐射在所述狭缝(501)后，在所述相位掩模干涉区(302)上形成光斑区，并透过所述相位掩模干涉区(302)辐射在光纤(6)上；所述夹具(2)沿所述一维平移台(1)移动，并带动所述相位掩模板阵列(3)和所述FP掩模板(5)移动，使激光束(4)辐射到不同的所述狭缝(501)和所述相位掩模干涉区(302)上。
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