[发明专利]MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法在审
| 申请号： | 201510814841.0 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN105387859A | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 田新兴;张小莉;刘琳芝;段振华;王荣军;王鹏博 | 申请（专利权）人： | 中船重工西安东仪科工集团有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/18 | 分类号： | G01C21/18;G01C19/00;G01P15/18 |
| 代理公司： | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人： | 张培勋 |
| 地址： | 710065*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传感器组合，特别是微机电陀螺和加速度计惯性传感器测量组合，涉及MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，采用上述的MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法补偿后，MEMS传感器组合的静态测试和温度循环试验的输出零偏稳定性有较大幅度提高。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 组合 温度 漂移 误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
MEMS传感器组合温度漂移误差补偿方法，其特征是：至少包括如下步骤：步骤1：给MEMS传感器组合加电启动；步骤2：延时1分钟；步骤3：读取MEMS传感器组合启动时刻温度T0，并存贮到缓存器；步骤4：查表获取与当前温度值对应的误差修定值；步骤5：用步骤4的修定值修正MEMS传感器组合输出值；步骤6：延时2分钟；步骤7：读取MEMS传感器组合当前温度Tn，用读取的当前温度值与缓存器温度值进行比较，温度变化值小于2℃时，重返步骤6；温度变化值大于2℃时，将读取的当前温度值存入缓存器，代替上次的温度值，然后进行下一步；步骤8：计算本次时间间隔内MEMS传感器输出与温度变化率有关的误差修定值；步骤9：计算本次时间间隔内MEMS传感器输出与温度变化二次方有关的误差修定值；步骤10：计算本次时间间隔内的误差修定总值；步骤11：用步骤10修定值修正MEMS传感器组合输出值，重返步骤6。
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