[发明专利]一种指纹识别盖板的制备方法有效
| 申请号： | 201510814857.1 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN105279503B | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李军猛;牟光远;王建华;金璈;邹魏 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种指纹识别盖板，所述指纹识别盖板的材质为M面蓝宝石。本发明采用M面蓝宝石为指纹识别盖板的材料，能够提高指纹识别盖板的响应速度。实验结果表明，本发明提供的M面蓝宝石指纹识别盖板的响应速度为0.43s。本发明还提供了一种指纹识别盖板的制备方法，本发明通过在合理的范围内降低线切割速度，有利于切割线均匀消耗，有效降低晶片的翘曲度，可达15μm以下；本发明还通过优化激光切割的工艺条件，有效改善了镜片边缘的连续锯齿状崩边和连续灼伤点的情况，提高了加工良率。实验结果表明，采用本发明提供的制备方法得到的指纹识别盖板的加工良率提高至95％以上。本发明还提供了一种指纹识别模组。 | ||
| 搜索关键词： | 指纹识别 盖板 制备 良率 有效降低晶片 工艺条件 激光切割 镜片边缘 连续锯齿 翘曲度 切割线 线切割 响应 崩边 模组 加工 消耗 优化 | ||
【主权项】：
1.一种指纹识别盖板的制备方法，包括以下步骤：将M面蓝宝石晶棒依次进行线切割、研磨、化学机械抛光和激光切割后，得到指纹识别盖板；所述线切割的线速度为360～380mm/min，所述线切割的工作台速度为16～16.8mm/小时；所述激光切割的功率为15～30％；所述激光切割的频率为500～700Hz；所述激光切割的脉冲宽度为0.1～0.2ms；所述激光切割的切割速度为4～6mm/s。
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