[发明专利]阵列基板及其制造方法、液晶显示面板

摘要

本发明提供一种阵列基板，包括：依次形成于基板上的绝缘层和半导体图案；形成于绝缘层和半导体图案上的金属走线层；形成于金属走线层上且形成有第一接触孔的第一钝化层，所述第一接触孔暴露位于半导体图案的边缘的金属走线层；形成于第一接触孔中且覆盖第一接触孔所暴露的金属走线层的导电层。本发明还提供一种该阵列基板的制造方法以及液晶显示面板。本发明能够防止在薄膜晶体管的源极和漏极处发生断线，确保其与对应信号走线的电连接，且有利于提高开口率。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括：基板；依次形成于所述基板上的绝缘层和半导体图案；金属走线层，形成于所述绝缘层和所述半导体图案上；第一钝化层，形成于所述金属走线层上，且所述第一钝化层形成有第一接触孔，所述第一接触孔暴露位于所述半导体图案的边缘的所述金属走线层；所述半导体图案为台阶结构，沿所述基板的延伸方向，所述第一接触孔的开口尺寸等于所述台阶结构的最上层的全部或部分的尺寸、中间层的尺寸以及最下层的全部或部分的尺寸之和；导电层，形成于所述第一接触孔中且覆盖所述第一接触孔所暴露的所述金属走线层。