[发明专利]用于形成喷墨打印头以及包括其的喷墨打印机的方法

摘要

本发明提供一种用于形成用于静电致动喷墨打印头的多个静电致动器膜片的方法。方法可以包括在蚀刻停止层上形成掩盖致动器膜片层，其中蚀刻停止层插入掩盖膜片层和诸如半导体晶片的操作层之间。掩盖致动器膜片层被图案化以形成多个致动器膜片。多个致动器膜片附连到包括用于致动多个致动器膜片的电路的打印头驱动组件。随后，去除操作层和蚀刻停止层，由此留下附连到打印头驱动组件的多个致动器膜片。

主权项

1.一种用于形成包括静电致动器阵列的喷墨打印头的方法，所述方法包括：在蚀刻停止层的第一表面上形成多个致动器膜片，其中：所述多个致动器膜片的每一个与相邻致动器膜片横向地间隔；所述蚀刻停止层插入操作层和所述多个致动器膜片之间；并且所述操作层附连到所述蚀刻停止层的第二表面；将所述多个致动器膜片附连到打印头驱动组件，其中所述打印头驱动组件包括用于致动所述多个致动器膜片的电路；在将所述多个致动器膜片附连到所述打印头驱动组件之后，使用包括以下的方法去除所述操作层以暴露所述蚀刻停止层的第二表面：使用具有第一蚀刻速率的第一去除过程去除所述操作层的第一厚度；然后使用具有比所述第一蚀刻速率慢的第二蚀刻速率的第二去除过程去除所述操作层的第二厚度以暴露所述蚀刻停止层；以及在去除所述操作层之后，去除所述蚀刻停止层。