[发明专利]一种新型ITO靶材布局方法有效
| 申请号： | 201510815761.7 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105441883A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 张丽娇;郝俊海;王立峰 | 申请（专利权）人： | 铱格斯曼航空科技集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人： | 王顺荣;唐爱华 |
| 地址： | 100191 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种新型ITO靶材布局方法，该方法有五大步骤：一、将原有的背板进行加工，完成一个长环形跑道凹槽；二、将原有的大尺寸正长方体靶材加工成小尺寸的带有预定倾斜角度的5-10°的斜长方体靶材；三、加工长环形跑道长直轨道与半圆形轨道对接处的一面带有小角度，另外一面是垂直体梯形体靶材；四、加工半圆形体靶材；五、将小尺寸的斜长方体靶材与梯形体靶材和半圆形体靶材安装到新加工好的带有长环形跑道凹槽的背板上，安装斜长方体靶材间留预定的空隙，空隙大小为靶材厚度的sin倾斜角度值。本发明在保证了镀膜质量的同时既节省了原料，又提高了靶材的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 ito 布局 方法 | ||
【主权项】：
一种新型ITO靶材布局方法，其特征在于：该方法具体步骤如下：步骤一：将原有的背板进行加工，完成一个长环形跑道凹槽；步骤二：将原有的大尺寸正长方体靶材加工成小尺寸的带有预定倾斜角度的5‑10°的斜长方体靶材；步骤三：加工长环形跑道长直轨道与半圆形轨道对接处的一面带有小角度，另外一面是垂直体梯形体靶材；步骤四：加工半圆形体靶材；步骤五：将小尺寸的斜长方体靶材与梯形体靶材和半圆形体靶材安装到新加工好的带有长环形跑道凹槽的背板上，安装斜长方体靶材间留预定的空隙，空隙大小为靶材厚度的sin倾斜角度值。
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