[发明专利]一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510816013.0 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN105374929B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 李永祥;张志强;刘志甫;杨群保 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/27;C04B35/495;C04B35/632;C04B35/634 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器及其制备方法，该驱动器包括：叠层设置的多层织构化陶瓷厚膜，包括分别印刷有层状电极的陶瓷面层、至少一层陶瓷内层和陶瓷底层；贯穿所述陶瓷面层和陶瓷内层的第一通孔；贯穿所述陶瓷内层和陶瓷底层的第二通孔；填充所述第一通孔的第一连接电极；以及填充所述第二通孔的第二连接电极；其中第一通孔和第二通孔分别位于所述织构化陶瓷厚膜的相对两侧，所述陶瓷内层上的层状电极具有条状缝隙，所述条状缝隙位于第一通孔和第二通孔之间，且相邻两层陶瓷内层上的条状缝隙不重叠。这种电极结构省去外端电极，简化了制备工艺、节约成本，同时避免了端电极在驱动器使用过程中容易失效的弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 织构化无铅 压电 陶瓷 多层 驱动器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种织构化无铅压电陶瓷多层驱动器，其特征在于，包括：叠层设置的多层织构化陶瓷厚膜，包括分别印刷有层状电极的陶瓷面层、多层陶瓷内层和陶瓷底层；贯穿所述陶瓷面层和所有陶瓷内层的第一通孔；贯穿所有陶瓷内层和陶瓷底层的第二通孔；填充所述第一通孔的第一连接电极；以及填充所述第二通孔的第二连接电极；其中第一通孔和第二通孔分别位于所述织构化陶瓷厚膜的相对两侧，所述陶瓷内层上的层状电极具有条状缝隙，所述条状缝隙位于第一通孔和第二通孔之间，且相邻两层陶瓷内层上的条状缝隙不重叠，在所述织构化无铅压电陶瓷多层驱动器内部，相邻层状电极之间利用所述第一通孔和第二通孔中的所述第一连接电极和第二连接电极来实现电气互连，所述织构化无铅压电陶瓷多层驱动器无外端电极。
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