[发明专利]一种洁净室系统在审
| 申请号： | 201510816837.8 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN105421824A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 杨政谕 | 申请（专利权）人： | 亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | E04H1/12 | 分类号： | E04H1/12;F24F7/10;F24F13/28 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215126 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种洁净室系统，包括新风输送系统、排气系统和一洁净空间；所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，洁净空间的底部为地面；所述洁净空间内设置多个回风道结构，回风道设于地面和天花板之间，其顶部与架构空间连通，其底部侧面则设有回风口；所述回风口的高度小于等于20cm；所述天花板上设有第二回风口。本发明通过降低回风口的高度，其高度与现有设备是相差很大的，这便不会造成离回风口近的底部气体饶过设备进入回风口而形成扬尘现象，从而大大提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 系统 | ||
【主权项】：
一种洁净室系统，包括新风输送系统、排气系统和一洁净空间；所述洁净空间从上到下包括架构空间(1)和洁净空间(2)，架构空间和洁净空间之间设有天花板(3)，洁净空间的底部为地面；所述洁净空间内设置多个回风道结构，回风道(4)设于地面和天花板之间，其顶部与架构空间连通，其底部侧面则设有回风口(5)；其特征在于：所述回风口的高度小于等于20 cm；所述天花板上设有第二回风口(7)。
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