[发明专利]一种区分PN型硅料的显色溶液和区分方法在审
| 申请号： | 201510823501.4 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105445262A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王晓伟 | 申请（专利权）人： | 王晓伟 |
| 主分类号： | G01N21/78 | 分类号： | G01N21/78 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体硅料的检测技术，尤其是一种区分PN型硅料的显色溶液和区分方法。该显色溶液的体积配比为：硝酸∶氢氟酸＝1∶75～78；其中氢氟酸的质量分数为35～40％、硝酸质量分数70～72％。经本发明显色溶液酸洗的非多晶硅料，表面的明、暗对比分明，P、N型用肉眼清晰可见，且用过的酸液还可以重复利用清洗硅料表面杂质；具有提高区分率、提升工作效率、提高单晶质量以及降低成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区分 pn 型硅料 显色 溶液 方法 | ||
【主权项】：
一种区分PN型硅料的显色溶液，其特征在于，该显色溶液的体积配比为：硝酸∶氢氟酸＝1∶75～78；其中氢氟酸的质量分数为35～40％、硝酸质量分数70～72％。
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