[发明专利]薄壁封闭玻璃腔室光学参数的检测系统及方法有效
| 申请号： | 201510824142.4 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105466887B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 陈熙源;邹升;张红 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄壁封闭玻璃腔室光学参数的检测系统，包括光源、锁相放大器、光学斩波器、光电探测器、分光片、透镜、光阑和计算机；光源产生激光进入主光路，经两个透镜调节光斑尺寸，再经光阑整形光斑、控制光强；输入光经分光片形成参考光路和测量光路，测量光路的激光经过腔室的表面，反射到光电探测器中，其输出信号经锁相放大器调制，连接计算机；参考光路的激光直接由光电探测器检测，其输出信号经另一锁相放大器调制，连接计算机。本发明还提出一种与之相应的检测方法。本发明解决了薄壁封闭玻璃腔室光学参数(物理壁厚、折射率)无损检测的问题，为超高灵敏惯性与磁场测量装置后续的深入研究提供了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 薄壁 封闭 玻璃 光学 参数 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄壁封闭玻璃腔室物理壁厚和折射率的检测系统，包括：用于产生输入光的光源，用于信号调制解调的锁相放大器、光学斩波器和光电探测器，用于光路调节的元器件分光片、透镜、光阑，以及计算机；光源产生激光进入主光路，经两个透镜调节光斑尺寸，再经光阑整形光斑、控制光强；输入光经过分光片后形成参考光路和测量光路，测量光路的激光经过腔室的表面，反射到光电探测器中，其输出信号经锁相放大器调制后，连接计算机；参考光路的激光直接由光电探测器检测，其输出信号经另一锁相放大器调制后，连接计算机。
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