[发明专利]一种锗熔体浮渣清除方法有效
申请号: | 201510826525.5 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105401214B | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 李宝学;包文东;赵飞宇;罗玉萍 | 申请(专利权)人: | 昆明云锗高新技术有限公司;云南中科鑫圆晶体材料有限公司;云南鑫耀半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/08 | 分类号: | C30B29/08;C30B15/00 |
代理公司: | 昆明祥和知识产权代理有限公司53114 | 代理人: | 和琳 |
地址: | 650503 云南省昆明市高新*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 一种锗熔体浮渣清除方法,涉及浮渣清除技术领域,尤其是一种锗熔体浮渣清除方法。本发明的方法瞬间改变炉内压力,使熔体液面在压力差的作用下发生对流,浮渣在热对流的影响下漂移至炉体中央,之后将锗单晶作为浮渣提出的工具,多次反复重复直至除净炉内浮渣。本发明的一种锗熔体浮渣清除方法,无需改造单晶炉设备,节约成本。未引入新的除渣设备及手段,减少了固相、气相杂质的引入。与其他去除浮渣相比,这种方法比表面积较大,能除去更多的浮渣,具有耗时短、占用物料少,浮渣可以全部清除等优点。同时,由于公司产业链的优化特性,粘附浮渣的单晶可以回炉冶炼,减少原料损耗。 | ||
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【主权项】:
一种锗熔体浮渣清除方法,高温熔化原料后,采用提拉法去除浮渣,其特征在于在除浮渣时先对熔化炉内进行抽真空,瞬间改变炉内压力,使熔体(7)液面在压力差的作用下发生对流,浮渣在热对流和压力差的影响下漂移至炉体中央,之后将锗单晶(6)作为浮渣提出的工具,在副室(3)冷却的锗单晶(6)降至熔体(7)液面,利用浮渣与Ge熔体的结晶温度不同,使浮渣粘附在锗单晶(6)表面,锗单晶(6)完全没入熔体(7)后就提起来,提至副室(3)冷却一到两分钟再没入熔体(7)中,反复操作直至除净炉内浮渣。
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