[发明专利]用于涂覆有含溶剂涂层的晶圆的烘烤装置在审
| 申请号： | 201510829006.4 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105618352A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈里·乔治;亚伦·福利;奥利弗·特雷瑟尔 | 申请（专利权）人： | 苏斯微技术光刻有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;B05D3/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;杨生平 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于涂覆有含溶剂涂层(15)的晶圆(14)的烘烤装置(10)，其具有烘烤室(16)，用于晶圆(14)的支持件(12)，用于吹扫气体的入口(30)，和用于带有从涂层(15)蒸发的溶剂的吹扫气体的排出口(40)。所述入口的形式为布置在晶圆(14)之上的扩散元件(30)，以便使吹扫气体均匀地达到晶圆(14)的基本上整个表面上，所述排出口的形式为径向围绕扩散元件(30)的排出环(40)并且被布置在烘烤室(16)的顶部(22)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 涂覆有含 溶剂 涂层 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
用于涂覆有含溶剂涂层(15)的晶圆(14)的烘烤装置(10)，其具有烘烤室(16)，用于晶圆(14)的支持件(12)，用于吹扫气体的入口(30)，和用于带有从涂层(15)蒸发的溶剂的吹扫气体的排出口(40)，其特征在于，所述入口的形式为布置在晶圆(14)之上的扩散元件(30)，以便使吹扫气体均匀地达到晶圆(14)的基本上整个表面上，并且特征在于，所述排出口的形式为径向围绕扩散元件(30)的排出环(40)并且被布置在烘烤室(16)的顶部(22)。
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