[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物有效
| 申请号： | 201510829099.0 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105824201B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 金正铉;金圣植;李喻珍 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗蚀剂剥离剂组合物，该抗蚀剂剥离剂组合物能使剥离过程中金属线的腐蚀最小化，显示出优异的抗蚀剂去除性能，并且提高了能处理的基板数。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，包含：(A)N‑乙基甲酰胺；和(B)由下面化学式1表示的胺化合物：[化学式1]![]()
在化学式1中，R1和R2各自独立地为C1～C3烷基、C1～C3羟烷基或C1～C3氨烷基，并且R1和R2能连接以形成进一步含有N或O的环。
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