[发明专利]一种高世代平板减薄用混酸预清洗液有效
申请号: | 201510832000.2 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN105331465B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 邵勇;殷福华;栾成;赵文虎;李英;朱龙;顾玲燕 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C11D7/60 | 分类号: | C11D7/60;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D10/02 |
代理公司: | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 杜兴 |
地址: | 214400 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种高世代平板减薄用混酸预清洗液,其组分按重量百分比计包括:50~80%重量的硫酸、5~18%重量的磷酸、0.01~2%重量的盐酸和/或可溶性氯盐、1~7%重量的硝酸和余量水;可溶性氯盐为选自氯化钠、氯化钾、氯化铵中的至少一种。本发明的高世代平板减薄用混酸预清洗液采用硫酸、磷酸、盐酸和/或可溶性氯盐、硝酸和水混合而成,由于硫酸对一些无机和有机化合物都有一定的溶解能力,能有效去除玻璃基板表面的灰尘、指纹等,并且通过调整硫酸、磷酸、硝酸、盐酸和/或可溶性氯盐的浓度,可以控制硫酸对固化胶的溶解速度。 | ||
搜索关键词: | 一种 世代 平板 减薄用混酸预 清洗 | ||
【主权项】:
1.一种高世代平板减薄用混酸预清洗液,其特征在于,其组分按重量百分比计包括:50~80%重量的硫酸、5~18%重量的磷酸、0.01~2%重量的盐酸和/或可溶性氯盐、1~7%重量的硝酸和余量水;所述可溶性氯盐为选自氯化钠、氯化钾、氯化铵中的至少一种,所述高世代平板减薄用混酸预清洗液中还包含0.01~1%重量的表面活性剂,所述表面活性剂为阳离子型表面活性剂和/或非离子型表面活性剂,所述阳离子型表面活性剂为氨基酸型表面活性剂,高世代平板减薄用混酸预清洗液中阳离子型表面活性剂的占比为0.01~1%,高世代平板减薄用混酸预清洗液中非离子型表面活性剂的占比为0.5%,氨基酸型表面活性剂为选自十二烷基氨基丙酸和椰子酰精氨酸乙酯中的至少一种,非离子型表面活性剂为选自烷基糖苷和木质素聚醚中的至少一种,所述高世代平板减薄用混酸预清洗液中还包含2~8%重量的醇醚。
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