[发明专利]液态光致抗蚀剂用苯乙烯马来酸酐改性树脂的合成方法在审
| 申请号： | 201510834895.3 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105330807A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 刘军;宁晓龙;念以亭;马海晶 | 申请（专利权）人： | 山东一诺威新材料有限公司 |
| 主分类号： | C08G18/62 | 分类号： | C08G18/62;C08G18/67;C08G18/48;C08G18/24;G03F7/027 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 耿霞 |
| 地址： | 255400 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于化学合成技术领域，具体涉及一种液态光致抗蚀剂用苯乙烯马来酸酐改性树脂的合成方法。先将丙烯酸羟乙酯与脂肪族二异氰酸酯进行反应，得到半封异氰酸酯；再将二元醇与半封异氰酸酯进行封端反应，得到含双键的醇；最后将含双键的醇与苯乙烯马来酸酐共聚物进行反应，即得。本发明得到的改性SMA树脂作为液态光致抗蚀剂内的光敏树脂，与环氧改性SMA相比，侧链分子量较大，以此制备的液态光致抗蚀剂性能更加优异。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 光致抗蚀剂用 苯乙烯 马来 酸酐 改性 树脂 合成 方法 | ||
【主权项】：
一种液态光致抗蚀剂用苯乙烯马来酸酐改性树脂的合成方法，其特征在于先将丙烯酸羟乙酯与脂肪族二异氰酸酯进行反应，得到半封异氰酸酯；再将二元醇与半封异氰酸酯进行封端反应，得到含双键的醇；最后将含双键的醇与苯乙烯马来酸酐共聚物进行反应，即得。
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