[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，其能够监视通过激光光线照射单元而照射的激光光线的输出变化和激光光线的照射位置。激光加工装置的激光光线照射单元包括：脉冲激光振荡器；聚光器，其会聚脉冲激光光线而对被保持于卡盘台上的被加工物照射；分色镜，其配设于脉冲激光振荡器与聚光器之间；闪光照射单元，其对分色镜与聚光器之间的路径照射光；分束器，其配设于闪光照射单元与分色镜之间；以及摄像单元，其配设于通过分束器而分支的路径上。控制单元按照被脉冲激光振荡器振荡出而对被保持于卡盘台上的被加工物照射的脉冲激光光线的时机使闪光照射单元和摄像单元进行工作，并根据来自摄像单元的图像信号检测加工状态。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：/n卡盘台，其保持被加工物；/n激光光线照射单元，其对被保持于该卡盘台上的被加工物照射脉冲激光光线；/nX轴方向移动单元，其使该卡盘台与该激光光线照射单元在X轴方向上相对移动；/nY轴方向移动单元，其使该卡盘台与激光光线照射单元在与X轴方向正交的Y轴方向上相对移动；以及/n控制单元，其对该激光光线照射单元、该X轴方向移动单元和该Y轴方向移动单元进行控制，/n该激光光线照射单元包括：/n脉冲激光光线振荡单元，其振荡出脉冲激光光线；/n聚光器，其会聚由该脉冲激光光线振荡单元振荡出的脉冲激光光线而对被保持于该卡盘台上的被加工物进行照射；/n分色镜，其配设于该脉冲激光光线振荡单元与该聚光器之间，反射由该脉冲激光光线振荡单元振荡出的脉冲激光光线而引导至该聚光器，并且，使脉冲激光光线的波长以外的波长的光透过；/n闪光照射单元，其对该分色镜与该聚光器之间的路径照射光；/n分束器，其配设于该闪光照射单元与该分色镜之间，使来自被保持于该卡盘台上的被加工物的光进行分支；以及/n摄像单元，其配设于通过该分束器而分支的路径上，/n在照射该脉冲激光光线的同时，该卡盘台与该激光光线照射单元在该X轴方向上相对移动，沿着该X轴方向进行加工，/n该控制单元按照由该脉冲激光光线振荡单元振荡出而对被保持于该卡盘台上的被加工物进行照射的脉冲激光光线的时机使该摄像单元进行工作，并且使该闪光照射单元按照该脉冲激光光线的时机且以不与该脉冲激光光线的照射时机重叠的方式进行工作，该控制单元根据来自该摄像单元的图像信号检测加工状态，/n该控制单元根据来自该摄像单元的图像信号来检测照射位置与所设定的加工位置之间的偏差，在该偏差的量超过了预先设定的容许值的情况下，以修正该偏差的方式控制该Y轴方向移动单元，其中，该照射位置是由该激光光线照射单元所照射的Y轴方向上的脉冲激光光线的照射位置，/n该图像信号是对来自该被加工物的被脉冲激光光线进行加工的区域的光进行成像而得到的。/n