[发明专利]曲面堆叠式图像传感器

摘要

本发明的曲面堆叠式图像传感器，采用很薄的柔性堆叠式图像传感器主体，并且结合具有内曲面的封装管，下硅片与内曲面相贴合，使得下硅片底部随着内曲面而弯曲成相应的弧度，从而减小了整个堆叠式图像传感器的体积，并且，采用透光玻璃进行顶部封装，透光玻璃与上硅片顶部具有空腔，空腔内充满惰性气体，空腔侧壁具有微通孔，在地面环境中，惰性气体可以保护堆叠式图像传感器主体的洁净度，当外界大气压发生变化时，空腔内的惰性气体可以从微通孔排出到外部或者外界的气体可以从微通孔进入到空腔内，从而保持空腔内的气压与外界气压相同或相近，无论在地面环境还是在太空环境都可以避免曲面堆叠式图像传感器发生爆炸或挤扁的问题。

主权项

1.一种曲面堆叠式图像传感器，其特征在于，包括堆叠式图像传感器主体和封装管壳；其中，所述堆叠式图像传感器主体包括：上硅片，其底部经减薄处理，具有感光传感器像素阵列以及上引出极区；所述感光传感器像素阵列用于探测图像信号；下硅片，其底部经减薄处理，具有所述感光传感器像素阵列所探测的图像信号的读出电路和输出接口电路、以及下引出极区；所述上硅片的底部和所述下硅片的上表面键合在一起；上引出极区和下引出极区通过第一绑定线相连；所述封装管壳包括内曲面、位于内曲面两侧的接触垫、以及位于封装管壳底部的焊点；在封装管壳上部具有将所述封装管壳封闭的透光玻璃；所述内曲面与所述下硅片底部相贴合，使得所述下硅片底部弯曲成与所述内曲面相同曲率半径的弧度；所述封装管壳的所述接触垫与所述下引出极区通过第二绑定线相连；所述堆叠式图像传感器主体上方具有空腔，所述空腔内充满惰性气体，所述空腔的侧壁具有微通孔。