[发明专利]一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位方法及其装置在审
| 申请号： | 201510843717.7 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105302164A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 高健;张揽宇;陈新;周志强;邓海祥;陈云;汤晖;贺云波 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位方法及其装置，包括用于进行补偿定位精度的补偿元件、用于放置运动机构的基座、用于检测定位精度的位置检测装置和用于控制整个定位补偿控制运作的控制系统；补偿元件安装于运动机构，位置检测装置安装于基座和补偿元件上。本发明提出根据以上结构，针对精密运动机构到位误差问题，提出利用补偿元件的精密往复进给运动，不断快速地对运动机构的到位误差进行动态可调的准确补偿，提高运动机构的定位精度，有效减小运动机构到位震荡与定位时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 补偿 运动 机构 到位 误差 精密 定位 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种快速补偿运动机构到位误差的精密定位装置，其特征在于：包括用于进行补偿定位精度的补偿元件、用于放置运动机构的基座、用于检测定位精度的位置检测装置和用于控制整个定位补偿控制运作的控制系统；所述补偿元件安装于所述运动机构。
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