[发明专利]基于飞秒光梳同步锁频的多波长干涉实时绝对测距装置

摘要

一种基于飞秒光梳同步锁频的多波长干涉实时绝对测距装置，包括基于飞秒光梳同步锁频的多波长发生器，用来出射多个高频率稳定度的目标波长激光；外差干涉仪，用来接收由飞秒光梳同步锁频后的多波长发生器输出的激光，经外差干涉仪发生干涉的返回测量光和参考光由透镜聚焦耦合到单模光纤中，形成混合的多波长外差干涉信号；同步相位解调模块，用来将外差干涉仪得到的混合干涉信号通过波长解调分离得到各个波长对应的干涉信号，并对各个波长的干涉信号进行同步相位测量处理，最终得到精确的绝对距离值。本发明具有量值溯源性强、测量精度高、非模糊度量程大、更新速率快和易于现场实时测量等优点，适合于工业生产、装备制造和等大尺寸精密测量领域。

主权项

一种基于飞秒光梳同步锁频的多波长干涉实时绝对测距装置，其特征在于，包括：飞秒光梳同步锁频的多波长发生器，用来出射多个高频率稳定度的目标波长激光，即作为输出锁频到飞秒光梳的多波长激光光源；外差干涉仪，用来接收由飞秒光梳同步锁频的多波长发生器输出的激光，该激光经过准直后入射到外差干涉仪，发生干涉的返回测量光和参考光由透镜聚焦耦合到单模光纤中，形成混合的多波长外差干涉信号；同步相位解调模块，用来将外差干涉仪得到的混合干涉信号通过波长解调分离得到各个波长对应的干涉信号，并对各个波长的干涉信号进行同步相位测量；处理分析模块，用来对同步相位解调模块测量得到的小数相位信息和准确的波长值，利用多波长算法得到精确的绝对距离值。