[发明专利]一种串联式六自由度精密调整装置

摘要

本发明公开了一种串联式六自由度精密调整装置，包括沿X轴移动的X向移动层、沿Y轴移动的Y向移动层、沿Z轴移动的Z向移动层、绕X轴偏转的X向旋转层、绕Y轴偏转的Y向旋转层和绕Z轴偏转的Z向旋转层。本发明六自由度精密调整装置首次采用串联式组合方式，使在调整产品位置时在每个轴方向上可以单独移动调整，实现了六自由度姿态自由调整，较并联式结构更简单，同时可用于手动调整。

主权项

一种串联式六自由度精密调整装置，其特征在于，包括沿X轴移动的X向移动层(3)、沿Y轴移动的Y向移动层(2)、沿Z轴移动的Z向移动层(1)、绕X轴偏转的X向旋转层(5)、绕Y轴偏转的Y向旋转层(4)和绕Z轴偏转的Z向旋转层(7)，Z向移动层(1)设置在底座(6)上，在Z向移动层(1)的中心设置驱动结构，驱动Z向移动层(1)上下移动，驱动结构两侧设置垂直于Z向移动层(1)的导向杆，用于Z向移动层(1)上下移动时导向；在Z向移动层(1)两侧上设置垂直于Z轴的Y向移动直线导轨，Y向移动层(2)设置在Y向移动直线导轨上，Y向移动层(2)可沿Y向移动直线导轨运动；在Y向移动层两侧上设置垂直于Z轴和Y轴的X向移动直线导轨，X向移动层(3)设置在X向移动直线导轨上，X向移动层(3)可沿X向移动直线导轨运动；在X向移动层上设置绕Z轴转动的转动机构，Z向旋转层(7)设置在转动结构上，使Z向旋转层(7)可绕Z轴转动；在Z向旋转层(7)上设置顶杆铰链机构，Y向旋转层(4)设置在顶杆铰链机构上，顶杆铰链结构可顶起Y向旋转层(4)并绕Y轴偏转；在Y向旋转层上设置顶杆铰链机构，X向旋转层(5)设置在顶杆铰链机构上，顶杆铰链结构可顶起X向旋转层(5)并绕X轴偏转；所述顶杆铰链机构为Z向旋转层(7)或Y向旋转层(4)一侧装有两个轴和轴承且两个轴心共线，使Y向旋转层(4)或X向旋转层(5)能够绕二者轴线转动，形成一个铰链，而Z向旋转层(7)或Y向旋转层(4)另一侧通过电机驱动蜗轮蜗杆，使Y向旋转层(4)或X向旋转层(5)绕铰链产生角度，角度范围为0～3度，角度所产生的角位移精度范围为0.001～0.01。