[发明专利]精密气浮位移平台

摘要

一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。

主权项

一种精密气浮位移平台，其特征在于，包括底板、横向导轨、纵向导轨、横向气浮滑套、纵向气浮滑套、矩形移动框架、摩擦轮横向驱动装置和摩擦轮纵向驱动装置，在底板上固定有相互平行的两根纵向导轨，两横向导轨两端各通过一个纵向气浮滑套滑动连接在纵向导轨上，矩形移动框架的相对边的两端各通过一横向气浮滑套滑动连接在横向导轨上；安装在同一根所述的纵向导轨上的两个纵向气浮滑套的外侧通过封板相互连接，在一个该封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，该摩擦轮横向驱动装置通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该底板的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，该摩擦轮纵向驱动装置通过纵向推杆与一根该横向导轨的外侧中部连接；在所述的横向气浮滑套的下面与底板之间设有卸载气浮装置；在所述的横向气浮滑套和纵向气浮滑套的内侧四面均设有气浮结构，在工作时与压缩空气气源连接形成气浮垫；所述的横向推杆与矩形框架之间，以及纵向推杆与横向导轨之间分别通过磁环座柔性连接，该磁环座由底部的连接座和顶部组成，在顶部的顶端设有球面凹槽；在横向推杆和纵向推杆的顶端设有与该球面凹槽吻合的球面顶；所述的摩擦轮横向驱动装置和摩擦轮纵向驱动装置结构相同，包括直流力矩电机、减速器、摩擦轮、导向轴承、横向驱动杆和支座，在支座 的上部设有凹槽，在该凹槽内滑动安装横向驱动杆，直流力矩电机与横向推杆的方向垂直，安装在凹槽的上部的外侧，直流力矩电机的输出端安装减速器，减速器的输出轴安装摩擦轮，摩擦轮与横向驱动杆的上面摩擦传动连接，输出稳定的力矩；在支座的凹槽两侧和下面装有多对导向轴承，为横向驱动杆导向。