[发明专利]一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法

摘要

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域，特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法，所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中，将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中，进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确，同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移，通过精确的距离反求环境等效激光波长，进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

主权项

一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪，其特征在于，包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜，所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜与精密位移装置，所述激光源射出的激光束经所述分光镜后分为第一激光束和第二激光束，第一激光束射向所述固定平面反射镜，经所述固定平面反射镜反射后再次射向所述分光镜，再经分光镜后射向所述光电探测器，第二激光束射向所述测量平面反射镜，经所述测量平面反射镜反射后再次射向所述分光镜，经分光镜后射向所述光电探测器，第一激光束与第二激光束在射向所述光电探测器时发生干涉，所述测量平面反射镜设置在所述精密位移装置上，所述精密位移装置设置在被测物体上，所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。所述精密位移装置包括支撑平台和设置在所述支撑平台上的驱动装置，所述支撑平台与所述被测物体相配合，所述驱动装置为所述测量平面反射镜提供在被测物体位移方向上的位移，所述驱动装置为压电陶瓷型驱动装置，还包括设置在所述支撑平台上的第一位移件和设置在所述第一位移件上的第二位移件，所述驱动装置与所述第一位移件相配合，为所述第一位移件提供沿所述支撑平台的位移，所述第一位移件具有一相对于其位移方向倾斜的斜面，所述第二位移件滑动设置在所述第一位移件的斜面上，使所述第二位移件可沿所述第一位移件的斜面滑动，所述第一位移件与第二位移件之间贴紧配合，所述测量平面反射镜设置在所述第二位移件上，所述支撑平台上还设置有约束装置，所述约束装置限制所述第二位移件沿所述第一位移件位移方向上的运动，使得当第一位移件被所述驱动装置带动而产生位移时，所述第二位移件被所述第一位移件带动而产生位移，并且，所述第二位移件的位移方向与所述第一位移件的位移方向相垂直，所述第一位移件的斜面与其位移方向的夹角为A度，0<A<45，所述 第二位移件上设置有弹性元件，使得第二位移件与第一位移件保持接触状态。