[发明专利]压力传感器、压力测量设备、制动系统和测量压力的方法

摘要

本发明涉及一种压力传感器、压力测量设备、制动系统和测量压力的方法，压力传感器(15)带有双测量刻度，包括：柔性本体(16，34)，设计成根据压力(P)而经受偏转；压阻转换器(28，29；94)，用于检测偏转；第一聚焦区域(30)，设计成在第一操作条件过程中将压力(P)的第一值(P_INT1)集中在柔性本体的第一部分(19)中，以便使柔性本体的第一部分发生偏转；以及第二聚焦区域(33)，设计成在第二操作条件过程中将所述压力(P)的第二值(P_INT2)集中在柔性本体的第二部分(17)中，以便使柔性本体的第一部分二部分()发生偏转。压阻转换器将柔性本体的第一部分的偏转关联至第一压力值(P_INT1)，并且将柔性本体的第二部分的偏转关联至第二压力值(P_INT2)。

主权项

1.一种压力传感器(15)，具有双测量刻度，所述压力传感器被配置成接收沿着一个方向(Z)作用的压力(P)，所述压力传感器包括：‑柔性本体(16，34)，适于根据所述压力(P)而至少部分地经受偏转；‑第一衬底(32；52)，被布置为面向所述柔性本体(16，34)的第一侧(16a)；‑转换组件(28，29；94)，被配置成根据所述柔性本体(16，34)的相应的第一部分(19)和第二部分(17)的偏转而产生第一输出信号(V_out1)和第二输出信号(V_out2)；‑第一聚焦区域(30)，被布置在所述第一衬底与所述柔性本体之间，所述第一聚焦区域被配置成在第一操作条件期间将所述压力(P)中的第一压力值(P_INT1)集中在所述柔性本体(16，34)的所述第一部分(19)中，从而仅仅使得所述柔性本体(16，34)的所述第一部分(19)产生偏转；以及‑第二聚焦区域(33)，被布置在所述第一衬底与所述柔性本体之间，所述第二聚焦区域被配置成在第二操作条件期间将所述压力(P)中的第二压力值(P_INT2)集中在所述柔性本体(16，34)的第二部分(17)中，从而使得所述柔性本体(16，34)的所述第二部分(17)产生偏转，所述转换组件配置成：在所述第一操作条件期间，通过将所述柔性本体(16，34)的所述第一部分(19)的所述偏转关联至所述第一压力值(P_INT1)来产生所述第一输出信号(V_out1)；以及在所述第二操作条件期间，通过将所述柔性本体(16，34)的所述第二部分(17)的所述偏转关联至所述第二压力值(P_INT2)来产生所述第二输出信号(V_out2)，其特征在于，所述压力传感器进一步包括位于所述第一衬底(32)与所述柔性本体(16，34)之间的第一腔，其中所述第一聚焦区域(30)在所述第一腔中延伸且具有等于存在于所述第一衬底与所述柔性本体(16，34)之间的距离的第一厚度，并且所述第二聚焦区域(33)在所述第一腔中延伸且具有小于所述第一厚度的第二厚度。