[发明专利]焦面检测装置、焦面标定方法与硅片曝光方法有效
| 申请号： | 201510856628.6 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106814546B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王天寅;许琦欣;李玉龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种焦面检测装置、焦面标定方法与硅片曝光方法，该装置包括光源单元，用于对掩模板进行照射产生成像光束；成像单元，用于将掩模板上的调焦图形成像在调焦图像传感器上；调焦驱动单元，用于垂向调节投影物镜或者运动台单元以完成调焦；运动台单元，其上设置有带有反射标记的反射装置，所述运动台单元用于将所述反射装置移动至投影物镜的正下方；控制单元，用于对调焦图像传感器采集的图形数据进行分析和处理，并反馈控制调焦驱动单元。本发明能够快速且准确的对最佳焦面偏移量进行标定和补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 标定 方法 硅片 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种焦面检测装置，其特征在于，包括：光源单元，用于对掩模板进行照射产生成像光束，所述掩模板上带有调焦图形；成像单元，用于将调焦图形成像在反射装置和调焦图像传感器上；调焦驱动单元，用于垂向调节运动台单元以完成调焦；运动台单元，其上设置有带有反射标记的反射装置，用于将所述反射装置移动至投影物镜的正下方；控制单元，用于对调焦图像传感器采集的图形数据进行分析和处理，并反馈控制调焦驱动单元；其中，调节运动台单元和调焦驱动单元至反射标记在调焦图像传感器上清晰成像，记录此时反射装置的第一垂向位置；下移反射装置直至调焦图形在调焦图像传感器上清晰成像，记录此时反射装置的第二垂向位置；根据反射原理，确定最佳曝光位置；设定第一、第二垂向位置之间的间距为d，则最佳曝光位置为第二垂向位置下方d处。
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