[发明专利]自由光瞳照明方法及照明系统在审
| 申请号： | 201510856658.7 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106814548A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 田毅强 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自由光瞳照明方法及照明系统，该方法包括如下步骤步骤1、设置LED阵列光源，所述LED阵列光源由若干LED光源组合而成，具有光源主轴；步骤2、设置可变视场光阑在所述光源主轴上；步骤3、设置控制单元，所述控制单元与所述LED阵列光源和可变视场光阑分别连接；步骤4、根据所需光瞳能量分布需求，及曝光视场范围，通过所述控制单元控制相应的LED光源出射光的功率，及所述可变视场光阑的拦光范围，完成相应的自由光瞳照明。本发明通过调制LED阵列光源中各个LED光源出射光的功率，即可在光瞳面得到所需的能量分布。本发明光瞳调制原理与结构简单，便于安装调试，安全性高，模式切换速度快，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 自由 照明 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种自由光瞳照明方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、设置LED阵列光源，所述LED阵列光源由若干LED光源组合而成，具有光源主轴；步骤2、设置可变视场光阑在所述光源主轴上；步骤3、设置控制单元，所述控制单元与所述LED阵列光源和可变视场光阑分别连接；步骤4、根据所需光瞳能量分布需求，及曝光视场范围，通过所述控制单元控制相应的LED光源出射光的功率，及所述可变视场光阑的拦光范围，完成相应的自由光瞳照明。
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