[发明专利]一种分度回转工作台及分度回转工作台系统

摘要

本发明提供了一种分度回转工作台及分度回转工作台系统，其中，分度回转工作台包括：旋转气浮结构、驱动控制结构、转盘架、底座和多个用于放置待处理件的承片台；所述驱动控制结构驱动所述旋转气浮结构转动预设的角度，带动所述转盘架和所述承片台转动，使所述承片台旋转至对应的工位。本发明提供的所述分度回转工作台通过设置旋转气浮结构、驱动控制结构、转盘架、底座和多个用于放置待处理件的承片台，使得待处理件能够在分度回转工作台的旋转下，实现多个工位间的转换，将多个工艺集成一体化，即在同一个承片台上完成多个工艺，解决现有技术中晶片在工艺流程中各设备间的传递造成大量碎片的问题，提高了设备稳定性和工作效率，降低了能源浪费。

主权项

1.一种分度回转工作台，其特征在于，包括：旋转气浮结构、驱动控制结构、转盘架、底座和多个用于放置待处理件的承片台；其中，所述旋转气浮结构包括连接轴和与所述连接轴的中部固定相连的承载台；所述转盘架包括固定轴和与所述固定轴的上端部分固定相连的转盘台，所述转盘台上设有多个通孔；所述旋转气浮结构通过所述连接轴的下端部分穿设固定在所述底座上，通过所述连接轴的上端部分与所述转盘架的固定轴的下端部分固定相连；所述承片台的下端部分固定设于所述旋转气浮结构的承载台上，且上端部分从对应位置的所述转盘台的通孔中露出；所述驱动控制结构与所述连接轴的下端部分从所述底座中穿出的部分固定相连；所述驱动控制结构驱动所述旋转气浮结构转动预设的角度，带动所述转盘架和所述承片台同步转动，使所述承片台旋转至对应的工位；其中，所述驱动控制结构包括旋转编码器和电机；所述旋转编码器固定套设于所述连接轴的下端部分从所述底座中穿出的部分结构上，所述电机与所述连接轴的下端部分端面固定相连；所述固定轴的下端部分设有第二安装孔，所述连接轴的上端部分通过所述第二安装孔与所述固定轴的下端部分固定相连。