[发明专利]检测系统以及检测方法有效
| 申请号： | 201510860140.0 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN105987957B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李雨青;余青芳;林俊宏;秦圣基;许庭豪;张庆祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 王芝艳;冯志云 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一薄膜设置于一蚀刻掩模之上，一声波生成器放置在薄膜之上，声波生成器用来产生多个声波以使薄膜以一目标共振频率振动。一共振检测工具用来检测回应声波的薄膜的一实际共振频率。一或多个电子处理器利用从目标共振频率到实际共振频率的偏移量来估算薄膜的老化状态。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检测系统，包括：一薄膜，设置在一蚀刻掩模之上，该薄膜具有一表面；一声波生成器，放置在该薄膜之上，其中该声波生成器产生多个声波以使该薄膜以一目标共振频率振动；一共振检测工具，配置用于：产生一信号，平行地沿着该薄膜的该表面行进穿越该表面；在该信号平行地沿着该薄膜的该表面行进穿越该表面之后，测量该信号；以及基于所测量到的该信号，判定回应该些声波的该薄膜的一实际共振频率；以及一电子处理器，根据该薄膜从该目标共振频率到该实际共振频率的一偏移量的函数估算该薄膜的老化状态。
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