[发明专利]用于感测角速率的微机电陀螺仪及感测角速率的方法有效
| 申请号： | 201510860425.4 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106066175B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | D·普拉蒂;C·瓦尔扎希纳;L·G·法罗尼;M·F·布鲁内托 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 感测角 速率 微机 陀螺仪 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电陀螺仪，包括：衬底；固定到所述衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到所述衬底并且能够相对于所述衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到所述第一质量块并且能够相对于所述第一质量块在第二方向上移动；以及第三质量块，在所述第二方向上相对于所述第一质量块横向布置，使得所述第三质量块的外边缘与所述第一质量块的外边缘间隔开并且面向所述第一质量块的外边缘，所述第三质量块按照使得所述第三质量块能够相对于所述第二质量块在所述第一方向上移动的方式而被弹性地耦合到所述第二质量块，并且所述第三质量块按照使得所述第三质量块能够相对于所述衬底在所述第二方向上移动的方式而被弹性耦合到所述衬底；所述第三质量块被电容耦合到所述定子感测结构。
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