[发明专利]离子收集器、等离子体系统的控制方法及处理基板的方法有效
| 申请号： | 201510860494.5 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106531603B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈嘉任;吴奇颖;陈嘉直 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种离子收集器、等离子体系统的控制方法及处理基板的方法，离子收集器包含多个区段及多个积分器。多个区段与彼此实体隔离且围绕基板支撑件设置。每一区段包含导电元件，此导电元件用以传导因来自于等离子体的离子所产生的电流。每一个积分器耦接至对应的导电元件。积分器设计以决定对应的导电元件的离子分布，离子分布的决定至少基于导电元件所传导的电流。离子收集器可用以提高一或多个晶圆的均匀性测量结果的准确度，从而产生更佳的系统控制及更高的装置产率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 收集 等离子体 系统 控制 方法 处理 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体系统的控制方法，其特征在于，包含：设置一圆形导电元件围绕一基板支撑件；使用一等离子体系统以产生一等离子体；设置一覆盖物，使该覆盖物的至少一窗口在该圆形导电元件上顺时针或逆时针移动，以控制该圆形导电元件中用以接收來自该等离子体的离子的多个能够单独测量位置；决定在该些能够单独测量位置处的离子分布；比较该些能够单独测量位置测得的离子分布；以及若该些能够单独测量位置测得的离子分布相互之间的差异大于一临限值，则调整该等离子体系统的参数。
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