[发明专利]一体化薄膜桥点火器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种一体化薄膜桥点火器及其制备方法。该一体化薄膜桥点火器由下至上依次包括基体整体元件、过渡层薄膜、点火层薄膜和复合桥膜层。制备方法包括(1)在基体整体元件表面先后淀积过渡层薄膜和点火层薄膜；(2)采用激光刻蚀工艺在点火层薄膜上刻制出锯齿状薄膜桥区；(3)在锯齿状薄膜桥区上周期性交替淀积CuO薄膜层和Al薄膜层，得到一体化薄膜桥点火器。本发明的一体化薄膜桥点火器无需封装、可低能可靠点火，能有效降低点火能量和点火时间，制备方法成本低廉，可实现批量化生产。

主权项

1.一种一体化薄膜桥点火器，其特征在于，所述一体化薄膜桥点火器由下至上依次包括基体整体元件（1）、过渡层薄膜（3）、点火层薄膜（4）和复合桥膜层（9）；所述基体整体元件（1）内嵌设有极针；所述点火层薄膜（4）中设有锯齿状薄膜桥区（8）；所述复合桥膜层（9）是由周期性交替排列的CuO薄膜层（6）和Al薄膜层（7）组成；所述点火层薄膜（4）采用的薄膜材料为TaN或NiCr；所述复合桥膜层（9）中，最下层和最上层均为CuO薄膜层（6）。