[发明专利]悬臂压电换能器有效
| 申请号： | 201510860679.6 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106257699B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | F·普罗科皮奥;A·弗兰吉 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/25 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本公开涉及悬臂压电换能器。压电换能器包括：锚定件；半导体材料的梁(25)，从锚定件开始在平行于第一轴(Y)的主方向上以悬臂方式延伸，并且具有平行于第一平面(XY)的面(25c)，第一平面由第一轴(Y)和垂直于第一轴(Y)的第二轴(X)限定；以及压电层(26)，在梁(25)的面(25c)上。梁(25、125、225、325)的垂直于第一轴(Y)的截面是非对称的，并且被成形为使得梁(25)响应于施加到锚定件并且根据第一轴(X)定向的力，而呈现离开第一平面(XY)的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂 压电 换能器 | ||
【主权项】：
1.一种压电换能器，包括：锚定件；半导体材料的梁(25、125、225、325、425)，从所述锚定件开始在平行于第一轴(Y)的主方向上悬臂式延伸，并且具有平行于第一平面(XY)的面(25c、125c、225c、325c)，所述第一平面由所述第一轴(Y)和垂直于所述第一轴(Y)的第二轴(X)限定；以及压电层(26)，在所述梁(25、125、225、325、425)的所述面(25c、125c、225c、325c)上；所述梁(25、125、225、325、425)的垂直于所述第一轴(Y)的截面是非对称的，并且被成形为使得所述梁(25、125、225、325、425)响应于施加到所述锚定件并且根据所述第一轴(X)指向的力而呈现离开所述第一平面(XY)的变形。
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