[发明专利]箱隔离的充油微机电系统压力传感器有效
| 申请号： | 201510860709.3 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN105651449B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | D·B·斯特罗特;R·P·布罗德;K·R·沃时博恩 | 申请（专利权）人： | 森萨塔科技公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 马景辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个方面涉及箱隔离的充油微机电系统压力传感器。提供了一种充油压力传感器。该传感器包括安装到头体并且与头体电隔离的漂移稳定压力传感元件，该压力传感元件被浸入充油腔并且温度稳定，以用于在腔中传感压力，而没有大量的信号漂移。提供了一种制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离 微机 系统 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种充油压力传感器，包括：安装到头体并且与头体电隔离的漂移稳定压力传感元件，所述压力传感元件被浸入充油腔并且温度稳定，以用于在没有实质的信号漂移的情况下感测所述腔中的压力。
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