[发明专利]金属诱导催化反应液及其制备方法、以及应用

摘要

本发明涉及一种金属诱导催化反应液及其制备方法、以及应用。金属诱导催化反应液由按照体积份数的如下各组分组成酸性清洗剂选自氢氟酸和双氧水的混合溶液。上述金属诱导催化反应液中包括酸性清洗剂、非离子表面活性剂、金属源以及去离子水。其中，酸性清洗剂选自氢氟酸和双氧水的混合溶液。金属源能够提供金属粒子。而非离子表面活性剂起到润滑分散金属粒子的作用。将预处理之后的硅片放入本发明提供的这种金属诱导催化反应液中进行金属粒子沉积，在金属诱导催化反应液的上述各组分的配合作用下，金属粒子能够均匀沉积在预处理之后的硅片上，不容易团聚。

主权项

一种金属诱导催化反应液，其特征在于，由按照体积份数的如下各组分组成：所述酸性清洗剂选自氢氟酸和双氧水的混合溶液。