[发明专利]一种电容式的环境传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201510863339.9 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN105333889A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 张俊德 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王昭智;马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式的环境传感器及其制造方法，包括具有容腔的衬底，在衬底上设置有悬置在容腔上方的敏感膜，敏感膜与衬底的容腔围成了密闭腔体；还包括可动极板，可动极板连接在所述敏感膜上；还包括与可动极板构成环境敏感型电容器的固定极板。本发明的环境传感器，可动极板连接在敏感膜上，当外界环境发生变化时，敏感膜会受到外界环境的影响而发生相应的形变(例如上凸或下凹)，使得与其连接的可动极板发生上升或下降的位移，最终通过构成的环境敏感型电容器输出相应的电信号。本发明的环境传感器，将敏感膜的形变转换为可动极板在单一方向(例如水平方向)上的变化，由此可大幅度提高环境敏感型电容器的线性性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 环境 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电容式的环境传感器，其特征在于：包括具有容腔的衬底(1)，在所述衬底上(1)设置有悬置在容腔上方的敏感膜(2)，所述敏感膜(2)与衬底(1)的容腔围成了密闭腔体(5)；还包括可动极板(4、8a、15a)，所述可动极板(4、8a、15a)连接在所述敏感膜(2)上；还包括与可动极板(4、8a、15a)构成环境敏感型电容器的固定极板(8b、15b)。
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