[发明专利]平面度测量方法

摘要

本发明涉及一种平面度测量方法。所述平面度测量方法包括以下步骤：获取所述预设移动平面内的多个预设点位与所述基准面之间的距离A1、A2…An，其中n为2以上的自然数；将所述待测工件放置于所述测量平台上，并将所述待测表面朝向所述第一测量探头，所述第一测量探头于所述预设移动平面内移动并采集所述多个预设点位与所述待测表面之间的距离B1、B2…Bn；以及计算差值Cn＝Bn‑An，并根据计算式C＝Cmax‑Cmin获取所述待测表面的平面度值C，其中Cmax为Cn中的最大值，Cmin为Cn中的最小值。所述平面度测量方法的测量效率较高且精度较高。

主权项

1.一种平面度测量方法，用于采用一测量设备来测量待测工件的待测表面的平面度，其特征在于，所述测量设备包括测量平台、基准块以及第一测量探头，所述基准块放置在所述测量平台上，其上形成有基准面，所述第一测量探头与所述测量平台间隔设置且能够于预设移动平面内移动，所述测量平台包括XY移动平台以及设置于XY移动平台上的移动支架，所述XY移动平台内设置有伺服机构以驱动移动支架移动，所述第一测量探头安装于所述移动支架上，所述预设移动平面与所述测量平台相对倾斜设置，所述多个预设点位对应所述基准面按行列矩阵设置，所述平面度测量方法包括以下步骤：获取所述预设移动平面内的多个预设点位与所述基准面之间的距离A1、A2…An，其中n为2以上的自然数；将所述待测工件放置于所述测量平台上，并将所述待测表面朝向所述第一测量探头，所述第一测量探头于所述预设移动平面内移动并采集所述多个预设点位与所述待测表面之间的距离B1、B2…Bn；以及计算差值Cn＝Bn‑An，并根据计算式C＝Cmax‑Cmin获取所述待测表面的平面度值C，其中Cmax为Cn中的最大值，Cmin为Cn中的最小值。