[发明专利]一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路在审
| 申请号： | 201510865214.X | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN106813656A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 史树元 | 申请（专利权）人： | 史树元 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市浑南*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，其结构简单，仅用一个传感器就可以产生三个轴的角速度信号，体积小巧。另外，该类型的陀螺仪谐振频率通常也比较高，不存在音频干扰的问题，方便客户使用。基于这些特点，PZT型MEMS陀螺仪应用前景广阔，是未来MEMS陀螺仪发展的一个重要方向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pzt mems 陀螺仪 及其 前端 电路 | ||
【主权项】：
一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路，其特征是：所述陀螺仪的前端电路的第一级将MEMS所产生的电荷信号转化成电路可以处理的电压信号，该电压信号经过第二级电路的运算、放大和平衡处理后再送往第三级电路；第三级电路集高通滤波器和放大功能于一体。
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