[发明专利]位置敏感探测器定位误差的标定方法

摘要

本发明提供一种位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置，标定装置包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器；单轴精密转台固定于电控平移台上，单轴精密转台上放置有PSD。该方法很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直，避免了因坐标系旋转而引入的测试误差，提高了PSD定位误差的测试精度。

主权项

1.一种位置敏感探测器定位误差的标定方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将PSD放置于单轴精密转台上，转动PSD，使PSD的光敏面与电控平移台成夹角，然后固定PSD；步骤2：调整半导体激光器光束方向，使光束和PSD光敏面垂直，记录PSD的坐标测量值和电控平移台的测量值；移动电控平移台到下一位置后，记录PSD的坐标测量值和电控平移台的测量值；通过两次PSD的坐标测量值计算出两个光点之间的距离，作为测量值；通过两次电控平移台的测量值计算出两个光点之间的距离，作为相对真值；测量值与相对真值之差即为PSD的定位误差；步骤3：根据PSD的定位误差确定单轴精密转台的转动步距，以确定后的转动步距转动单轴精密转台，然后重复步骤2来测量转动后的PSD的定位误差，经过多次转动单轴精密转台，从而得到PSD的定位误差的数集；步骤4：以单轴精密转台的角度位置和相对应的PSD的定位误差分别为横轴和纵轴，绘制曲线；确定曲线所对应函数的单调性，若为单调函数则重复步骤1-4，直到曲线所对应的函数为非单调函数再进行下一步；若为非单调函数则进行下一步；步骤5：确定步骤4中的非单调曲线极值点的横坐标与纵坐标，其中，横坐标为PSD光敏面与电控平移台移动方向平行时的角度位置，纵坐标为PSD定位误差。