[发明专利]层转移工艺

摘要

本发明涉及一种层转移工艺。用于转移有用层(40)的工艺包括下列步骤：a)提供施主衬底(10)，所述施主衬底包括中间层(30)、承载衬底(20)和有用层(40)，中间层(30)适于变软；b)提供受主衬底(50)；c)组装受主衬底(50)和施主衬底(10)；以及d)对受主衬底(50)和施主衬底(10)进行热处理，该热处理在高于第一温度的第二温度下进行，所述工艺的特征在于，中间层(30)不含易于放气的物质，而且，形成了附加层(60)，所述附加层(60)包括适于在步骤d)中扩散到中间层(30)中并在中间层中形成弱化区(31)的化学物质。

主权项

一种用于将有用层(40)转移至受主衬底(50)的工艺，所述工艺包括下列步骤：a)提供施主衬底(10)，所述施主衬底包括位于承载衬底(20)与有用层(40)之间的中间层(30)，中间层(30)适于在第一温度下变软；b)提供受主衬底(50)；c)组装受主衬底(50)和施主衬底(10)，使得有用层(40)和中间层(30)被夹在承载衬底(20)与受主衬底(50)之间；以及d)在步骤c)之后对受主衬底(50)和施主衬底(10)进行热处理，该热处理在高于第一温度的第二温度下进行，所述工艺的特征在于，中间层(30)不含易于放气的物质，所述工艺的特征还在于，形成了附加层(60)，所述附加层(60)包括适于在步骤d)中扩散到中间层(30)中并在中间层中形成弱化区(31)的化学物质。