[发明专利]一种痕量六氟化硫气体检测装置在审
| 申请号： | 201510871812.8 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106814034A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 田荣侠 | 申请（专利权）人： | 田荣侠 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110180 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明一种痕量六氟化硫气体检测装置，由光声腔、激光器与其驱动控制电路、声压传感器与其驱动电路、透镜组、温度控制部分、电磁阀和空气泵、信号处理部分构成。所述的光声腔主要用于产生光声信号，光声腔的材料选用热传导系数较大的不锈钢，能使光声腔内部通过光声效应产生的热量尽快散失掉，同时，腔壁厚度为5mm，能有效避开外界噪声的干扰；本发明具有灵敏度较高，反应速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 痕量 六氟化硫 气体 检测 装置 | ||
【主权项】：
痕量六氟化硫气体检测装置由光声腔、激光器与其驱动控制电路、声压传感器与其驱动电路、透镜组、温度控制部分、电磁阀和空气泵、信号处理部分构成。
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