[发明专利]真空度控制系统、控制方法及X射线荧光光谱仪在审
| 申请号： | 201510873047.3 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN105510368A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 麻硕;邱忠义;陈卓哲;邓赛文 | 申请（专利权）人： | 北京金自天正智能控制股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 100070 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空度控制系统、控制方法及X射线荧光光谱仪，属于真空度控制领域，为解决现有技术中真空泵持续运转导致能耗高等问题而设计。本发明真空度控制系统包括真空腔室、真空规管、控制装置、变频器以及真空泵；真空泵与真空腔室通过管道连接，管道上分别设置有抽真空阀和进气阀。本发明真空度控制方法是根据所述真空腔室中的真空度数值来调整真空泵、抽真空阀和/或进气阀的工作参数。本发明真空度控制系统、控制方法及X射线荧光光谱仪利用变频器对真空泵进行控制，通过调整变频器的输出频率来改变真空泵电机的转速，从而达到降低设备能损、节能环保的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 控制系统 控制 方法 射线 荧光 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种真空度控制系统，其特征在于，所述控制系统包括真空腔室(1)、连接至所述真空腔室(1)的真空规管(2)、信号连接所述真空规管(2)的控制装置(4)、信号连接所述控制装置(4)的变频器(5)、以及信号连接所述变频器(5)的真空泵(3)；所述真空泵(3)与所述真空腔室(1)通过管道(6)连接，所述管道(6)上分别设置有抽真空阀和进气阀。
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