[发明专利]一种类金刚石微管及其制备方法有效
| 申请号： | 201510874097.3 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN105483614B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;焦圆;柯培玲;张栋;郭鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22;C23C14/58 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 聂智 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及三维结构材料技术领域，具体涉及一种类金刚石微管的制备方法，其包括以下步骤：⑴提供一基底，并对所述基底进行表面刻蚀处理；⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜，其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种；⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间，使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解，类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲，得到具有中空结构的类金刚石微管。本发明还提供一种类金刚石微管。本发明的制备方法简单，适合产业化，得到的类金刚石微管的直径和厚度为微米级，且可通过磁控溅射源的工作电流以及沉积时间来调控，具有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 微管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种类金刚石微管的制备方法，其包括以下步骤：⑴提供一基底，并对所述基底进行表面刻蚀处理；⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜，其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种；⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间，使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解，类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲，得到具有中空结构的类金刚石微管。
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