[发明专利]稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201510876374.4 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN105514266A | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 邹华;胡益丰;朱小芹;薛建忠;张建豪;孙月梅;郑龙;吴世臣;袁丽;吴卫华;眭永兴 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 213001 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法，稀土掺杂Sb基相变薄膜材料的化学分子式为SbxAy；其中0<x≤0.92，0<y≤0.48，x+y=1.00；并且A为稀土。通过该方法使制备的薄膜热稳定性好，数据保持力好，低功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 稀土 掺杂 sb 相变 薄膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料，其特征在于它的化学分子式为SbxAy；其中0<x≤0.92，0<y≤0.48，x+y=1.00；并且A为稀土。
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