[发明专利]一种绝缘覆膜抗腐蚀合金键合丝及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510879257.3 申请日: 2015-12-05
公开(公告)号: CN105470228B 公开(公告)日: 2018-10-23
发明(设计)人: 林良 申请(专利权)人: 烟台一诺半导体材料有限公司
主分类号: H01L23/49 分类号: H01L23/49;H01B1/02;H01B7/28
代理公司: 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 代理人: 梁翠荣
地址: 264006 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种绝缘覆膜抗腐蚀合金键合丝及其制备方法,其由内层的合金键合丝和外层的绝缘抗腐蚀高分子覆膜层组成;合金键合丝的金属基材包括金、银、铜和铝,用于合金的其它金属包括金、银、铜、铝、铂、钯、钌、铑、锇、铱以及全部稀土元素;绝缘覆膜抗腐蚀材料为热塑性聚酰亚胺树脂。利用覆膜材料隔绝金属与外界环境的接触,提高了键合的可靠性;同时利用合金掺杂的方式,降低了键合丝与基底焊接后二者间原子的扩散速度,改善了二者金属间化合物(IMC)引起的脆性失效问题,进一步提高了键合丝可靠性。
搜索关键词: 一种 绝缘 覆膜抗 腐蚀 合金 键合丝 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种绝缘覆膜抗腐蚀合金键合丝的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)、合金基材的选择或提纯:选择99.999%以上的高纯基材金属;或利用提纯工艺,使基材金属的纯度达到99.999%以上;2)、熔铸:将高纯基材金属与所需合金混合,经过预合金、母合金和连续拉铸工艺,熔铸成合金金属棒;3)、拉丝:将合金金属棒通过拉丝机拉成要求线径的丝线;4)、退火;5)、覆膜及固化:在合金键合丝的表面通过水平浸渍镀膜,覆盖上绝缘覆层材料,并进行UV固化处理;其中步骤5)采用以下专用装置进行覆膜及固化:所述专用装置包括循环槽以及安装于循环槽之内用于装盛液体绝缘覆膜材料的水平浸渍镀膜槽,循环槽的上边沿低于水平浸渍镀膜槽的上边沿;所述专用装置还包括位于水平浸渍镀膜槽上方的循环滴液装置,循环槽通过循环泵和循环管与所述循环滴液装置相连接;所述专用装置还包括安装在循环槽右侧的UV固化炉;所述专用装置还包括安装在循环槽左侧的放线装置以及安装在UV固化炉右侧的收线装置;放线装置和收线装置之间的键合丝依次经过水平浸渍镀膜槽的上端口上方和UV固化炉的固化腔。
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