[发明专利]基于远场光斑能量曲线的拼接误差检测方法

摘要

基于远场光斑能量曲线的拼接误差检测方法，涉及拼接光栅中的误差检测领域，解决现有拼接光栅误差检测方法不能够同时满足直接从应用角度给出拼接光栅的性能指标又使得计算过程不繁琐的问题，本发明选择远场光斑能量作为粗调参照，远场光斑能量曲线作为精调参照，分辨率作为最终调整指标，建立了光栅制作者与光栅使用者的直接联系，更便于光栅用户与光栅制作者间的相互沟通；此外，本实施方式中的方法不需要识别光斑形状，只需要通过能量曲线就可以判断出存在的拼接误差，直接通过CCD接收到的能量曲线判断，并根据能量曲线测量的分辨率作为调整指标，测量的精度高，不存在间接判断光斑能量形状而引入的误差。本发明的方法测量的精度高。

主权项

基于远场光斑能量曲线的拼接误差检测方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、将基准光栅和相对于基准光栅存在拼接误差的光栅作为拼接光栅放置于远场衍射光路中，入射光经基准光栅和相对于基准光栅存在拼接误差的光栅产生零级光和衍射光，零级光经第一透镜后由面阵CCD1接收，衍射光经第二透镜后由面阵CCD2接收，所述CCD1在第一透镜焦平面接收远场零级光斑，CCD2在第二透镜焦平面接收远场衍射级光斑；监测面阵CCD1和面阵CCD2某一行或某一列的像素能量曲线；同时分析所述面阵CCD1和面阵CCD2接收的远场光斑能量图和输出的能量曲线图；步骤二、根据步骤一中所述的面阵CCD1和面阵CCD2接收的远场光斑能量图的形状判断所述基准光栅和相对于基准光栅存在拼接误差的光栅存在的拼接误差，在拼接误差逐步调小的过程中，当根据所述光斑能量图无法判定是否存在拼接误差时，则根据能量曲线图调整拼接误差值，当能量曲线图的第一极小及曲线轮廓对称时，拼接误差调整结束；步骤三、将步骤二测量的能量曲线图中能量曲线的半高宽数值作为拼接光栅的分辨率，判断分辨率是否满足设计要求，如果否，则继续微调直至测量的拼接光栅的分辨率满足要求，如果是，则完成拼接。