[发明专利]基于光学干涉法的非接触光声探测方法及装置

摘要

本发明公开了一种基于光学干涉法的非接触光声探测方法，包括以下步骤S1、光声激发；S2、光学相干检测；S3、平衡调节；S4、探测窗口锁定。还公开了一种实现该方法的基于光学干涉法的非接触光声探测装置。本发明提供的方法，解决了目前光声成像必须使用声耦合介质的难题，扩大了光声成像的应用范围。具有较高的灵敏度，探测光光斑可以聚焦到微米及亚微米，具有较高的横向分辨率。采用光学探测易于进行高速扫描，从而可以提高成像速度。实时检测干涉系统灵敏度，平衡调节探测光强，使光声探测在系统最高灵敏度的状态下进行，本发明还提供了一种基于光学干涉法的非接触光声探测装置，能够有效提高成像的稳定性和重复性。

主权项

基于光学干涉法的非接触光声探测方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、光声激发：样品表面加有液体层，通过光声激发系统照射样品，样品吸收激光能量，产生压力波，压力波传到液体，使得液体表面产生振动；S2、光学相干检测：将相干光源发出的光分为两路，一路作为探测光进入样品系统后聚焦于样品表面，另一路作为参考光进入参考系统，两路光即经样品表面反射的探测光和经参考系统反射后的参考光沿原光路返回，再次分为两路发出；S3、平衡调节：步骤S2中再次分为两路发出的光，经过平衡调节系统调节光强后，分别进入平衡探测器的不同输入端，经平衡探测器进行差分输出；S4、探测窗口锁定：由单片机对差分输出信号进行判定，检测到系统处于高灵敏度状态时，单片机输出触发信号给光声激发光源，光声激发光源照射样品，同时光声激发光源输出触发信号给信号采集卡开始信号采集；差分输出信号通过高通滤波器滤波后输送给信号采集卡，完成信号采集，随后进行数据处理形成样品图像。