[发明专利]一种硅基量子点显示器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种硅基量子点显示器在硅衬底上采用半导体工艺制作对应行列像素单元的电压或电流驱动电路，在每个像素上制作对应于像素的阴极膜层，并进行化学机械平坦化抛光。在抛光的阴极膜层上，制作TiO2、TiN等材料的电子传输层、量子点发光层。并在量子点发光层上制作CBP作为空穴传输层，MoO₃作为空穴注入层，ITO导电层作为器件阳极,促进空穴和电子传输到量子点发光层，复合后发光。用透明基板进行密封封接后形成量子点发光显示器件。本发明的优点在于：在硅衬底上制作像素驱动电路，可以获得高的像素分辨率，以及大的电压或电流驱动能力，从而获得高亮度的量子点发光显示，实现高分辨率、高亮度可穿戴显示用的微型显示器。

主权项

1.一种硅基量子点显示器：其特征在于：包括硅衬底，硅衬底上设置有驱动电路，驱动电路上方设置有抛光的阴极膜层，阴极膜层上方从下往上依次设置有电子传输层、量子点发光层、空穴传输层和空穴注入层，空穴注入层上设置有器件阳极，所述驱动电路一端设置在硅衬底与阴极膜层之间，另一端设置在阳极膜层上；所述阴极膜层所采用的材料为铝、金、银、钙中一种或多种。