[发明专利]一种产品质量稳定的金属蚀刻加工工艺

摘要

本发明公开了一种产品质量稳定的金属蚀刻加工工艺，步骤如下：1)在金属膜表面涂覆感光材料，并在感光材料上贴覆菲林；2)进行曝光处理，并在曝光后将菲林去掉，并清洗金属膜表面未固化的感光材料，金属膜表面固化的感光材料形成掩膜层；3)将金属膜置于蚀刻机中进行蚀刻，终点侦测机获取每个正在蚀刻的金属膜的蚀刻终点时间，并发送给蚀刻机，蚀刻机根据蚀刻终点时间通过预置的算法获得每个金属膜的过蚀刻时间，蚀刻机对每一金属膜继续蚀刻过蚀刻时间，以完成对所述金属膜的蚀刻；4)除去蚀刻后的金属膜上的掩膜层，并进行清洗；5)检验入库；该金属蚀刻加工工艺流程简单、操作方便、加工效率高，且保证了产品的质量稳定性。

主权项

一种产品质量稳定的金属蚀刻加工工艺，其特征在于，步骤如下：1)在金属膜表面涂覆感光材料，并在感光材料上贴覆菲林；2)进行曝光处理，并在曝光后将菲林去掉，并清洗金属膜表面未固化的感光材料，金属膜表面固化的感光材料形成掩膜层；3)将金属膜置于蚀刻机中进行蚀刻，通过终点侦测机获取每个正在蚀刻的金属膜的蚀刻终点时间，并将蚀刻终点时间发送给蚀刻机，蚀刻机根据蚀刻终点时间通过预置的算法获得每个金属膜的过蚀刻时间，蚀刻机对所述每一金属膜继续蚀刻所述过蚀刻时间，以完成对所述金属膜的蚀刻；4)除去蚀刻后的金属膜上的掩膜层，并进行清洗；5)检验入库。